Масов спектрометър за контрол на процеса Atonarp Aston ™Глобален доставчик

Стая 702, 7-ми етаж, сграда 36, 1888 Xinjinqiao Road, Pudong New District, Шанхай, 201206

Масов спектрометър за контрол на процеса Atonarp Aston ™ Технически характеристики:

Универсален инструмент за управление на процеса в реално време, устойчив на корозионни газове, устойчив на кондензация
Платформа за молекулярен анализ in situ за производство на полупроводници, предоставяща данни в реално време
Използване на плазмен ионизиращ източник, без жици, по-издръжлив
Напълна интеграция с инструменти за масово производство
Aston ™ Масов спектроанализатор на процесаКато мощна платформа, тя може да замени множество традиционни инструменти, осигурявайки безпрецедентно ниво на контрол, включително фотография, електрическо и проводничко етиране и отлагане, почистване на камерите, съвпадане и разтворяване на камерите.

Aston ™ Масов спектроанализатор на процесаТехнически параметри

Тип	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Модел	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Разделяне на качеството	Четири стълба
Вакуумна система	Молекуларна помпа	Молекуларна помпа Мембранни помпи	Молекуларна помпа	Молекуларна помпа Мембранни помпи	Молекуларна помпа	Молекуларна помпа Мембранни помпи
Детектор	FC /SEM
Обхват на качеството	2-285		2-220		2-285
Разрешение	0.8±0.2
Ограничения за откриване	0.1 PPM
Работна температура	15-35“℃
мощност	350 W
тегло	15 kg
Размери	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Приложение: Значителни разработки в контрола и оптимизацията на процесите на полупроводници, подобряване на производителността, пропускната способност и ефективността на производствените процеси на полупроводници
Aston ™ Това е компактен онлайн масов спектрометър с изцяло нов дизайн и издръжливост, подходящ за мониторинг и контрол на газове в приложения за производство на полупроводници и контрол на промишлени процеси, съчетаващ висока количествена точност и реално време с стабилност и надеждност на производството, като например анализ на откриването на отработени газове от сухи помпи за полупроводници, който позволява онлайн мониторинг и диагностика.
CVD / ALD: Преход оксид-азот и анализ на съставките
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: идентифициране на проследяващите молекули
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

Ако се нуждаете от повече информацияAtonarp Aston ™ Онлайн масов спектрометърЗа повече информация или дискусии, моля, вижте следните данни за контакт:
Шанхай: г-це Йе Тайван: г-це Ван
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
М: +86 1391-883-7267 ( WeChat 同号 ) М: +886-939-653-958

В момента някои марки наемат агенти за сътрудничество, желаещите да се свържат с г-ца Шанхай Бедонг Йе 1391-883-7267
Всички права запазени в Шанхай!