Ултраминиатюрният сензор за налягане CYG502 с номинален външен диаметър 2 mm е проектиран специално за използване в експерименти по флуидомеханика, изискващи по-малки размери на монтажа. Това е най-малкият сензор за налягане в нашия продукт.
Чувствителните към налягането компоненти на CYG502 са проектирани и произведени с усъвършенствана технология MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Интегрираните триизмерни, двойно обработени силициеви компоненти, чувствителни към налягането, имат отлична линейна точност. Високата консистентност на моста на напрежението на Уистън, произведен с йонно инжектиране и фина литография, му позволява да има малко температурно изместване. Приемането на технология за директно свързване на силициев силиций, обърнат V-образен дизайн, така че да се постигне оптимизация на размера на филма на чипа, за да се намали целия размер на чипа до размера на 1 × 1 мм, а чувствителността на изхода все още може да достигне 100 кПа, за да се постигне критичен пробив в реализацията на ултрамикро сензори.
Смяната на силициев-стъклен връзка в традиционния дизайн на силициев-силициев връзка подобрява ефекта на топлинното съчетание и намалява нулевата нестабилност, причинена от напрежението.
В момента на пазара има сортове продукти за измерване на абсолютно налягане, а типът на надналягане се разработва.
CYG502A абсолютно налягане тип супер микро сензор за налягане е в форма на сонда, стандартен външен диаметър Ф2.15 мм, дължина 18 мм, опционален диапазон на сензора е 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa абсолютно налягане.
Сензорът за изолационно налягане CYG502A носи предно налягане с чувствителни елементи. Следователно, тя се прилага само за сухи газове, които не са корозивни и непровождащи. Той има доста широка зона на работна температура, до -55 ℃ ~ + 120 ℃, също така има много отлични динамични характеристики на висока честота, своята най-ниска честота на чувствителните елементи > 200 kHz, времето за повишаване е субмикросекунда.
1. параметри на показатели на ефективност
| Показатели/класове | Нелинейна точност ±%FS |
Забавено повтаряне %FS |
нулев температурен коефициент ×10-4FS /℃ |
Температурен коефициент на чувствителност ×10-4FS /℃ |
Пускане при нула <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2, изход с пълен обхват: минимална стойност 30mv типична стойност 80mv максимална стойност 130mv
Импедант на входа и изхода: минимална стойност 3 kΩ типична стойност 5 kΩ максимална стойност 7 kΩ
Входният работен ток: 1.5mA (тип измервателно налягане) 1mA (тип абсолютно налягане) (източник на постоянен ток)
Работен температурен диапазон: -55 ℃ ~ 120 ℃
Температурен диапазон на компенсацията: -10 ℃ ~ 80 ℃
Пренатоварване: 200% от номиналния обхват
Чувствителност към ускорение: <0.001% FS/g
Размери: CYG502A

