Характеристики на продукта:
1, корпусът на машината използва студено валцувана боя, вътрешната жълка е изработена от неръждаема стомана 316L материал; Нагревателят е равномерно разпределен около вътрешната и външната стена на жлъчката, без електрически аксесоари и запалими експлозивни устройства във вътрешната жлъчка. Твърдената, патроноустойчива двойна стъклена врата наблюдава обектите в студиото с един поглед.
2, вратата на кутията е затворена и се регулира, цялостното оформяне на силиконова каучука, за да се осигури висок вакуум в кутията.
3, микрокомпютърен интелигентен термометър с настройки, измерване на температурата с двоен цифров дисплей и функция за самоинтегриране на PID, прецизен и надежден температурен контрол.
Интелигентната система за контрол с сензорен екран, която поддържа японския Mitsubishi PLC модул, позволява на потребителите да променят програмата, температурата, вакуума и времето на всяка програма в съответствие с различните условия на процеса.
5, HMDS газ затворен тип автоматично абсорбиране добавяне дизайн, вакуумна кутия уплътняване ефективност е добра, за да се гарантира, че HMDS газ няма притеснения за изтичане.
Цялата система е изработена от материали, без прахообразни материали, подходящи за чистене на околната среда между 100 нива на светлина.

Избор на аксесоари:
Вакуумна помпа: германска марка, двуполярна маслена помпа Leipzig "DC", с висок крайни вакуум, нисък шум и стабилна работа.
Тръби за свързване: вълнени тръби от неръждаема стомана, напълно запечатани, които свързват вакуумната помпа с фурната.

Необходимостта от система за предварителна обработка HMDS:
В процеса на производство на полупроводници, фотографията е важна част от процеса за прехвърляне на графика на интегрирана схема, качеството на лепенето директно влияе върху качеството на фотографията, а процесът на лепенето също е особено важен. Повечето фотографични лепила в процеса са хидрофобни, а хидроксилните и остатъчните водни молекули на повърхността на силициевите листа са хидрофилни, което води до по-лошо лепило на фотографичното лепило и силициевите листа, особено положителното лепило, когато се проявява, течността ще проникне в свързването на фотографичното лепило и силициевите листа, лесно причинява дрейф, плаващо лепило и т.н., което води до неуспех на графичното прехвърляне на фотографията, а влажната Лепивото HMDS (хексаметилдисиликанан) може да подобри това състояние много добре. След нанасянето на HMDS върху повърхността на силиконовия лист, затоплянето в печка може да реагира за образуване на съединения, основно силиконови. Той успешно превръща повърхността на силициевия лист от хидрофилен в хидрофобен, чиято хидрофобна основа може да се свърже добре с фотогравиране и да играе ролята на свързващ агент.

Принцип на вакуумната печка HMDS:
Системата за предварителна обработка на HMDS може да бъде покрита равномерно с слой HMDS върху силициевите листове и повърхността на субстратите чрез параметри като работната температура на процеса на предварителна обработка на HMDS в печката, времето за обработка и времето за поддържане при обработка, за да се намали ъгълът на контакт на силициевите листове след обработка на HMDS, за да се намали използването на фотогравирано лепило, за да се подобри лепимостта на фотогравираното лепи

Общ работен процес на вакуумната печка HMDS:
Първо определете работната температура на печката. Типичната процедура за предварителна обработка е: отваряне на вакуумната помпа за изпомпване на вакуум, след като вакуумът в камерата достигне определена висока вакуумна степен, започва да се зарежда азот, след като се зарежда определена ниска вакуумна степен, отново се извършва процесът на изпомпване на вакуум, зареждане на азот, след като се достигне зададеният брой пъти за зареждане на азот, започва да се поддържа за известно време, така че силициевите плочи да се затоплят напълн След това отново започнете да изпомпвате вакуума, да зареждате газа HMDS и след пристигането на зададеното време да спрете да зареждате течността на HMDS и да влезете във фазата на поддържане, така че силициевите таблетки да реагират напълно с HMDS. Когато е достигнато зададеното време за задържане, започвайте отново да изпомпвате вакуума. Напълнете азота и завършете целия процес. Механизмът на реакция на HMDS и силициевите плочи е на изображение: първо се загрява до 100 ° C-200 ° C, премахване на влагата на повърхността на силициевите плочи, след което HMDS реагира с OH на повърхността, генерира силициев етър в повърхността на силициевите плочи, елиминирайки водородната връзка, така че полярната повърхност да се превърне в неполярна повърхност. Цялата реакция продължава, докато пространствената битова резистенция (по-голям триметилсиликан) предотврати по-нататъшната й реакция.

Изпускане на отработени газове и т.н.: излишната пара на HMDS (отработени газове) се изпомпва от вакуумната помпа и се изпуска в специален тръбопровод за събиране на отработени газове. Специална обработка е необходима, когато няма специален тръбопровод за събиране на отработени газове.

Боядисване на студено валцовани плочи