Целта на поддръжката на ICP:
1) навременно откриване на неизправността на инструмента;
2) отстраняване на скритите опасности на инструмента, своевременно откриване и предлагане на превантивни мерки;
3) чрез поддръжка на инструмента, подобряване на чувствителността на инструмента и удължаване на живота на инструмента;
4) увеличаване на стабилността на инструмента, за да се гарантира точността на данните от изпитването;
Съдържание на поддръжката на ICP инструменти:
1) Почистване на всички платки, вентилатори и повърхността на инструмента прах
2) Почистване на аппарата, аппаратната камера, конуса и горелката
3) Замяна на охлаждащата циркулираща вода, почистване на тръбите
4) вакуумна тръба свързване, електромагнитен клапан превключвател уплътнителност проверка регулиране на светлината процепи позиция
5) Проверка на ефективността на вакуумната помпа, замена на маслото на помпата, уплътнителни пръстени, молекулярни сита
6) Проверете, че няма изтичане между цилиндрите и ICP, за да се определи съответствието на веригата
7) Проверете газа на инструмента, сензора за подпомагане на газа, почистване
8) Поддръжка на RF високочестотен генератор за отстраняване на прах, поддръжка на вакуумна камера
9) Отговор на проблемите с работата на потребителя