КокристалТри цели магнетронен пръскач

Модел:VTC-600-3HD

Общ преглед на продукта:

VTC-600-3HD трицелев магнетронен пръскач еzuiНово разработено оборудване за покритие, което може да се използва за подготовка на еднослойни или многослойни железоелектрически филми, проводни филми, сплавни филми, полупроводникови филми, керамични филми, медийни филми, оптични филми, оксидни филми, твърди филми, политетрафлуоретиленови филми и др. В сравнение с подобно оборудване, той не само се използва широко, но и има предимството на малък обем за лесна работа, е идеално оборудване за лабораторна подготовка на материални филми, особено подходящо за лабораторни изследвания на твърди електролити и OLED.

Основни характеристики:

• Може да се приготви множество филми, широко използвани
• Малък размер, лесна работа
• Модулен дизайн на вакуумната камера, вакуумната помпа, контролното захранване е разделен дизайн, който може да коригира търсенето на покупка в съответствие с действителните нужди на потребителя.
• Може да изберете захранване в зависимост от действителните нужди на потребителя, може да се управлява няколко мишенни оръжия с едно захранване, или може да се управляват няколко мишенни оръжия с едно захранване

Магнетронна пръскваща глава：

• Инструментът е оборудван с три магнетронни пръскващи глави и всички са с водохлаждащи мебели.
• Една от разпръскващите глави е свързана с радиочестотно захранване, основно разпръскване на изолационни цели
• Друга разпръскваща глава е свързана с постоянно захранване, основно разпръскване на проводни цели
• Изисквания за размер на целта: диаметър 50 мм, дебелина 0,1-5 мм (различните дебелини се различават поради различни материали за целта)
• Можете да поръчате отделен RF кабел като резервен
• Устройството съдържа водно охлаждане за охлаждане на мишената глава

Носител на проби：

• Размер на носителя: φ140mm (zuiГоляма може да се постави 4 'основа)
• Носителят на проби може да се върти със скорост от 1 до 20 об/мин (регулируема)
• Носител на пробиzuiВърховна температура 500°C

Вакуумни камери：

• Вакуумна камера: φ300 mm × 300 mm H, изработена от неръждаема стомана
• Прозорец за наблюдение: Φ100 mm
• Отварянето на камерата използва горното отваряне, което прави промяната на целта по-лесна

Контролер на газовия поток：

• Инструментът е оборудван с 2 масови дебитометра с диапазон: 0-100sccm
• Настройките на газовия поток могат да се използват на 6-инчов сензорен екран
• За работа на тази система се изисква Ar газ и на цилиндрите са монтирани клапани за намаляване на налягането (не включени в устройството)

Вакуумна система：

• С молекулярна помпа GZK-103D (произведена в Германия)
• Стандартна граница 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Измерване на дебелината на филма：

• Прецизен кварцов вибрационен дебелометър, монтиран на инструмента, който следи дебелината на филма в реално време с резолюция 0,10 Å
• LED дисплей показва, както и въвеждане на съответните данни за филма, направен

Размери на продукта：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Тегло: 160 кг

КокристалТри цели магнетронен пръскач

Модел:VTC-600-3HD

Сертификация за качество:CE сертификация

Съвети за използване：

• Това устройство е DIY устройство, параметрите се променят много преди закупуване, моля, уверете се, че телефонът комуникира внимателно
• За да се получи по-добро качество на филма, трябва да се използва високочист газ (препоръчително > 5N)
• Уверете се, че пръскващата глава, целта, платформата и масата за проби са чисти преди пръскване
• За да се постигне добра комбинация на филма и субстрата, почистете повърхността на субстрата преди пръскане
• Ултразвуково почистване (за подробни параметри кликнете върху снимката по-долу): (1) ацетон ултразвук (2) изопропанол ултразвук - премахване на маслото (3) духане на азот за сушене (4) вакуумна печка за премахване на влагата.
• Плазмено почистване: може да се загрубява повърхността, да се активират химичните връзки на повърхността и да се премахнат допълнителните замърсители.
• Произвеждане на тънък буферен слой (около 5 нанометра): като Gr, Ti, Mo, Ta, може да се прилага за подобряване на прилепването на метали и сплави.

Предупреждение：

• Забележка: Вътрешността на продукта е монтирана с компоненти на високо напрежение, забранено е частно демонтиране, електрически мобилно тяло
• На цилиндрите трябва да се инсталира клапан за намаляване на налягането (стандартното оборудване не е включено), за да се гарантира, че изходното налягане на газа е ограничено на 0,02 МПаПо-долу, за безопасна употреба
• Разпръскващата глава е свързана с високо напрежение. За безопасност операторът трябва да вземе проби и да смени целта, преди да изключи устройството.