Въведение:

Вакуум: 2.0x10-8Pa;

Материал: неръждаема стомана 316L;

Франца на интерфейса: всички CF фланци;

Повърхностна обработка: електролизирана обработка за отстраняване на маслото;

Размер на камерата: персонализиран според нуждите на потребителя.

MBE молекуларни лъч разширяване оборудване:

Молекулното разширяване на лъча (MBE) е новоразработен метод за производство на разширяване на филма и специален вакуумен процес на покритие. Екстензията е нова технология за приготвяне на монокристален филм, който е метод за растеж на филм слой по слой по посоката на кристалната вала на материала за подложка при подходящите условия.

Предимствата на тази технология са: използваната температура на субстрата е ниска, скоростта на растеж на мембранния слой е бавна, интензивността на потока е лесна за прецизен контрол, компонентът на мембранния слой и концентрацията на допинга могат бързо да се коригират с промените в източника. С помощта на тази технология е възможно да се подготвят тънки до десетки атомни слоеве монокристаллни филми, както и ултратънки слоеве квантови микроструктурни материали, образувани от редовно растещи различни компоненти и различни допирани филми.