• Висока точност ± 1,0% точка на настройка
  Линеарността на този контролер на потока на масата се компенсира от многономна приблизителна крива и осигурява висока точност в обхвата на контрола на потока. За да се подобри точността на действителния газ, калибрираните данни за различните процесни газове се измерват от стандартната система за измерване на газовете на HORIBA STEC.
• Високоскоростен отговор
  Сглобяването на променлива PID система осигурява 1 секундна реакция между всяка от двете точки на настройка. Променливият PID непрекъснато се променя в зависимост от настройките на точките на потока. Оптимизиране на коэффициента PID при промяна на потока и газовете в пълен мащаб.
• Многогазови/многообхватни решения
  Софтуерът за конфигурация позволява бързо и лесно промяна на спецификациите. Важна характеристика е, че промените могат да бъдат извършени без да се налага премахване на контролера на масовия поток от контролния панел или тръбопровода на газа. Намалява броя на необходимите резервни контролери на качествения поток, спестявайки време и разходи.

Контролерът на масовия поток SEC-Z500X е подходящ за различни приложения и производство на полупроводници.