VIP член
Сканиращи електронни микроскопи с излъчване с ултрависока резолюция от серия SU8600
С бързото развитие на технологиите за събиране и обработка на данни електронният микроскоп навлиза в ера, в която се обръща внимание не само на качест
Данни за продукта
Сканиращи електронни микроскопи с излъчване с ултрависока резолюция от серия SU8600
С бързото развитие на технологиите за събиране и обработка на данни електронният микроскоп навлиза в ера, в която се обръща внимание не само на качеството на данните, но и на процеса им на събиране. Серията SU8600 се придържа към висококачествените изображения на серията Regulus 8200, анализа на големия поток и технологиите за студено поле, които работят стабилно в продължение на дълго време, като същевременно значително подобрява възможностите за автоматично получаване на данни с висок поток.
- *
- Снимките на устройството съдържат опции.
-
Характеристики
-
спецификации
Характеристики
Характеристики
Изображения с висока резолюция
Електронният източник с висока яркост на Hitachi осигурява изображения с изключително висока резолюция дори при изключително ниско кацащо напрежение.
Примери за наблюдаване на цеолит тип RHO при напрежение от 0,8 kV. Лявото изображение е цялостната форма на частицата, а дясното изображение е увеличено изображение, тънката стъпална структура на повърхността на частицата е ясно видима. Наблюдаването на ниското напрежение е ефективно за намаляване на увреждането на електронния лъч и за получаване на информация за формата на повърхността.
Примерка: Японски институт за интегрирани индустриални технологии, г-н Када Уамура
Високо облицовка ниско ускоряване напрежение обратно разпръскване изображение
Наблюдение на 3D NAND сечения;
При условия на ниско ускорено напрежение, обратно разпръснатият електронен сигнал може да покаже ясно разликата в облицовката между слоя на силициев оксид и слоя на силициев нитрид.
Наблюдение на 3D NAND сечение (ускорено напрежение: 1,5 kV)
Бързо изображение на BSE: Нов тип електронен детектор за задно разпръскване на мигащи тела (OCD)*
Благодарение на използването на новия тип OCD детектор, ясните дълбоки структурни изображения на Fin-FET все още могат да бъдат наблюдавани, дори ако сканирането е по-малко от 1 секунда.
Наблюдение на вътрешната структура на 5nm процес SRAM (ускорено напрежение: 30kV, време за сканиране < 1 секунда)
Усъвършенствана автоматизация*
EM Flow Creator позволява на клиентите да създават автоматизирани работни потоци за непрекъснато събиране на изображения. EM Flow Creator дефинира различните функции на SEM като графични модули, като например настройка на увеличение, преместване на местоположението на пробата, регулиране на фокусното разстояние и контраста на светлината и тъмността. Потребителят може да плъзне тези модули в логичен ред в една работна програма чрез просто плъзнене на мишката. След дебагиране и потвърждаване програмата автоматично получава висококачествени, възпроизвеждаеми данни за изображението при всяко обаждане.
Гъвкав потребителски интерфейс
Природно поддържа двойни монитори, осигуряващи гъвкаво и ефективно работно пространство. Шест канала показват и запазват едновременно, за да се постигне бързо наблюдение и събиране на множество сигнали.
Сигналите с 1, 2, 4 или 6 канала могат да се показват едновременно на един и същ монитор, включително SEM детекторите, камерите за проба и навигационните камери. Работното пространство може да бъде разширено с помощта на два монитора и потребителският интерфейс може да бъде персонализиран за подобряване на производителността.
спецификации
| Модели | серия SU8600 | |
|---|---|---|
| Електронни оптични системи | Вторична електронна резолюция | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Увеличаване | 20 to 2,000,000 x | |
| Електронни оръжия | Източник на електрони с излъчване на студено поле, поддържащ гъвкава мигане, включващ система за анодно печене. | |
| Ускорено напрежение | 0.5 to 30 kV | |
| Касящо напрежение | 0.01 to 20 kV | |
| Детектор | (частично по избор) | Върховен детектор (UD) |
| Енергийен филтър UD ExB с смесване на сигнали SE/BSE | ||
| Долен детектор (LD) | ||
| Върховен детектор (TD) | ||
| TD енергиен филтър | ||
| Електронен детектор за задно разпръскване в огледалото (IMD) | ||
| Полупроводников обратно разпръснат електронен детектор (PD-BSED) | ||
| Нов детектор за обратно разпръскване с мигащо тяло (OCD) | ||
| Катодни флуоресцентни детектори (CLD) | ||
| Детектор за сканиране (STEM Detector) | ||
| Приложения | (частично по избор) | Навигационна камера, камера за проба, рентгенов енергиен спектрометър (EDS), детектор за обратно разпръснати електронни дифракции (EBSD) |
| Софтуер | (частично по избор) | EM Flow Creator, HD Capture (до 40 960 x 30 720 пиксела) |
| Съставка за проби | Двигателна ос | 5-осно задвижване на двигателя (X/Y/R/Z/T) |
| Двигателна ос | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Стая за проби | Размер на пробата | Максимален диаметър: 150 mm |
- *
- В режим на забавяне
Свързани категории продукти
- Система за фокусиране на ионни лъчи (FIB/FIB-SEM)
- Устройство за предварителна обработка на проби TEM/SEM
Онлайн запитване
-
Контакти
-
Компания
-
Телефон
-
Имейл
-
WeChat
-
Код за проверка
-
Съдържание на съобщението
-